RTO焚烧炉半导体废气处理

浏览： | 2022-07-26 09:11

RTO焚烧炉半导体废气处理

1、半导体废气处理组件

半导体工业废气的主要成分是有机废气和酸碱废气。有机成分：非甲烷碳氢化合物、氮氧化物、二氧化硫等；酸碱成分：氨、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯等。

2、工业排放标准

3、半导体废气处理方法

一般半导体行业废气处理的解决方案如下：

（1）预处理阶段：采用喷淋塔对废水进行预处理，去除粉尘和溶于水的有害气体。

（2）主要处理阶段：这一阶段，较为常用和有效的方法有：紫外线光解、生物过滤分解、焚烧和催化燃烧。