光电产品生产过程中VOCs的排放
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2022-07-26 11:15
光电产品生产过程中VOCs的排放
今天,小编将继续为***家介绍光电产品制造业产生废气污染的五***类产品的制造工艺:半导体集成电路、TFT-LCD、led、印刷电路板(PCB)和电子终端产品。这些也是我们废气处理中经常遇到的问题。
① 半导体集成电路制造过程中VOCs的排放主要来源于光刻和显影过程。这些过程中,使用有机溶液(如异丙醇)清洁晶圆表面,挥发的废气是有机废气的来源之一。同时,光刻工艺中使用的光刻胶(photoresist)中含有挥发性有机溶剂,如乙酸丁酯等,晶圆加工过程中产生的有机废气也挥发成气体。
(2) TFT-LCD生产过程中VOCs的排放包括检测和测试。TFT-LCD的制造工艺可达到100多道工序。生产过程中使用了多种化学有机溶剂和***殊气体,产生了***量的VOCs和复杂的组分。TFT-LCD面板生产过程中VOCs的排放主要集中阵列工程和彩色薄膜工程。阵列工程中的光刻(胶合、曝光和显影)和黑色矩形BM膜制造、彩色矩阵膜形成(红、绿、蓝、RGB)、保护膜形成、MVA膜、彩色膜工程中的PS(光间隔)膜形成是VOCs产生的主要来源。TFT-LCD生产过程中产生的VOCs主要是异丙醇,其次是丙酮、单甲醚丙二醇和单甲醚丙二醇醋酸酯,占VOCs总量的90%以上。
③ LED电子元器件生产过程中VOCs的排放LED电子元器件生产过程中产生的VOCs污染物主要来自基板处理和光刻。LED生产过程中产生的VOC种类主要有三氯乙烯、丙二醇醚、异丙醇、丙酮、丁酮等。
④ PCB生产过程中,单面、双面和多面PCB生产过程都会产生VOCs。VOCs的加工环节比较集中,主要来自贴膜、干燥、印刷等行业。挥发性有机化合物的排放类型主要包括甲醛、醇类(乙醇、异丙醇、丁醇、丙醇)、酮类(丁酮)和酯类。贮存过程中会产生一些挥发性有机物,乙酸乙酯的产生和排放是挥发性有机物的主要来源。
⑤ 电子终端产品制造过程中VOCs的排放电子终端产品制造过程中,VOCs的主要来源包括电路板清洗剂(采用有机溶剂型清洗剂)的有机废气、电路板三层防喷漆废气、,机器(底盘)喷漆废气、底盘注塑废气。这些废气来自站场局部排气系统,具有排气量***、浓度低的***点。
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